富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命
发布日期:
2025-07-30

浏览次数:

在半导体制造领域,晶圆转运的精度每提升0.01毫米,良品率就能跃升一个量级;车间洁净度每降低一粒微尘,都可能引发数百万的损失。传统人工搬运和单功能设备正成为制约行业突破的瓶颈,而一场由复合机器人引领的智能制造革命已悄然降临。 


富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命


一、手脚眼脑协同,破解半导体制造核心痛点
富唯智能复合机器人深度融合协作机械臂、AMR移动底盘与3D视觉系统,形成“手脚眼脑”一体化架构,直击半导体制造的三大核心需求:


 富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命


1.毫米级操作精度:机械臂重复定位精度达±0.02mm,结合自研2D视觉(±0.05mm)与3D视觉(±0.2mm),实现晶圆、芯片的无损抓取,良品率提升至99.9%;


 富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命

 

2.千级洁净环境适配:全封闭机身与防静电材料设计,彻底消除微粒污染与静电损伤,满足半导体车间苛刻的洁净标准;

3.跨区域柔性转运:激光SLAM导航技术(±5mm精度)赋能360°全向移动,在密集设备间自主避障,替代传统轨道传输的刚性限制;


富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命

 

4.键合丝复绕自动化:在毫米级空间内精准对接复绕机与料柜,同步完成表面质量检测,漏检率降低至近乎为零,保障90%芯片互连材料的生产稳定性;

5.动态产能响应:订单波动期,系统支持2小时内完成产线重组,实现跨楼层物料流转,紧急插单响应效率提升300%;

 

二、技术内核:智能协同与极速部署的行业革新
富唯智能通过三大创新技术重构半导体生产逻辑:


富唯智能复合机器人:重塑半导体制造的精度与柔性革命


1.集群调度系统(FRDS):支持30台机组协同作业,实时接收MES指令并动态分配任务,避让效率提升200%,彻底杜绝物料排队拥堵;

2.零代码快速部署:图形化编程界面实现任务链“拖拽式”配置,车间人员1小时培训即可操作;新增产线时通过“地图热更新”功能,30分钟完成系统适配;

3.模块化生态兼容:机械臂、AGV底盘、视觉系统按需组合,支持Modbus TCP/Profinet等工业协议,无缝对接CNC机床与MES系统,构建全流程智能闭环;

当机械臂在无尘车间划出流畅轨迹,当AMR载着晶圆盒穿越设备丛林——富唯智能复合机器人正以±0.02mm的精度、99.9%的良率保障、30分钟的产线重组速度,重新定义半导体制造的效率边界。未来,随着更多半导体企业拥抱这场“手脚眼脑”协同的技术革命,中国芯的智造脉搏将跳动得更加铿锵有力。